接击沉了东洋电子产业都不为过，要知道尼康研发157n的光源绝不是一个光源的问题，其配套的镜头、光刻胶、化学制剂、车间电路等等几乎都是全新的，差不多等于把整个晶圆生产线或者电子产业基础全都换了一遍。
得益于东洋强大的电子配套产业实力，围绕着157n光源，东洋系电子产业链参与进去了无数的大小公司，结果都被一起打折了脊梁，在梁远偷渡之前，东洋广场协议之后，东洋经济之所以失落长达二十年之久，林本坚博士绝对功不可没。
除了憋屈死掉的157光源之外，135n euv llc也是梁远偷渡之前人类技术上限中最有可能投入到大规模商业应用中的光源，这个阵营包括英特尔、ad、摩托罗拉、美国能源部、asl、英飞凌、icron等。
1n接近式 x 光这个阵营包括aset、itsubishi，、nec、toshiba，、ntt、ib、摩托罗拉，这也是一个被林本坚博士击沉的阵营，由于实验室向来比产业界前沿的缘故，这个阵营起始于八十年末期，采用接近式曝光方式生产，原计划可以作为157光源之后的后补技术登场，到了新世纪虽然没有尼康那般倒霉刚好产品成熟，不过美日两国也各自在这个方向上投入了数十亿美元的巨资，还未问世就已经凉凉也不知道是幸还是不幸。
0004n ebdw 或 epl:朗讯～贝尔实验室、ib、佳能、尼康，asl被邀请加入后又率先退出，这个阵营的学名叫做电子束直写技术，是所有光刻技术阵营中看起来最吊也最浪漫的那个，同样也是光刻技术的物理极限，更是方伟林的主
第266章 制程路线之争 （上）(4/6)