的干扰都会影响光线,所以生产过程得在真空环境,而且,温湿度和压力变化还会影响对焦,所以在机器内部温度的变化要控制在千分之五度,得有合适的冷却方法,精准的测温传感器,更重要的是,需要精确度极高的镜头和光源。
有顶级的镜头和光源,没极致的机械精度,也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台,一个载底片,一个载胶片,两者需始终同步,误差在2纳米以下,两个工作台由静到动,加速度跟导弹发射差不多,如此而且,机械的动作得精确到误差仅以兆分之一秒
刘琅还记得洪玉当时举了个例子,这种同步性就相当于两架大飞机从起飞到降落,始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀,在另一架飞机的米粒上刻字,还不能刻坏了。
光刻机牛不牛?当然牛,即便是刘琅这个门外汉也是觉得这种仪器人类怎么能给它造出来呢?
可人类就是给造出来来了,而且未来还会不断发展,直至量子计算机的诞生………。
不过洪玉说的是三十年后的光刻机,现在大家面前的光刻机自然不能与自己的“孙子辈”相提并论了,这台光刻机的制程只有四微米,未来则是有十几个纳米,两者相差几百倍,要用机械来形容两者的差距,如果现在的光刻机比作是国产手扶拖拉机的发动机,那么未来的光刻机就是航天飞机的发动机。
“这应该就是制成达到制程4微米级别的刻纹机吧,技术真是先进,比咱们国家强出很多!”
周明目不转睛地看着感叹道。
周明曾经参加过二十多年前的卫星研制,对国家的半导体发展非常了解。
光
第四百一十三章 光刻机(3/5)