，还解决毛问题。
这只是等离子刻蚀机其中一个技术难点，像这样同等难度的问题rdd离子激光仪，还有好十几个呢，这只是rdd离子激光仪的问题，还没算难度便大的，等离子刻蚀机和浮动光刻机呢！
刘林想了想，伸手把放在桌子上的rdd离子激光仪的料资拿了起来。
rdd离子激光仪，又叫等pdd激光平面刻印仪，是工业微电子中非常常用的加工设备。
rdd离子激光仪，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
某种程度来讲，等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。
进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反应室，气体被导入并与等离子体进行交换，等离子体在工件表面发生反应，反应的挥发性副产物被真空泵抽走。
rdd离子激光仪实际上便是一种反应性等离子工艺，反应性激光体（rie），顺流激光体（ds），直接激光体（dp）。
感应激光体刻蚀法（edrt）是化学过程和物理过程共同作用的结果。
它的基本原理是在真空低气压下，ed 射频电源产生的射频输出到环形耦合线圈，以一定比例的混合刻蚀气体经耦合辉光放电，产生高密度的激光，在下电极的rt 射频作用下，这些等激光对基片表面进行轰击，基片图形区域
第264章 认输的刘林(2/8)