两者各有其优劣，说不上谁更好。
但呈现在顾律面前的这台mocvd，虽然使用的仍旧是国内的行星反应室结构，但在设备的其他组成系统上，应该进行了深层次的优化。
顾律只是简单的上下打量了这台设备一眼，就得出一个这样的结论。
“张主任，你们的这台设备应该进行了一定程度的改装吧，根据我的推测，这台mocvd不止最多可以同时生长两片1.5英寸的gan宽禁带半导体？”顾律说出自己的猜测。
张主任竖起大拇指。
“你说的没错。”张主任拍拍设备，语气略带得意的开口，“这台设备买回来后，我就让隔壁机械学院的几位朋友改装了一下。”
“你看着，在这块源供给系统部分，我们加了一个恒温器，可以保证金属化合物一个衡定的蒸气压。”张主任指着仪器前端的加装上去的一个恒温器为顾律介绍。
“还有这。”张主任把顾律领到mocvd的背面，“这块是气体运输系统，原本这里是只有一条管道的。”
“但是我们又增加了一条，这样的话，可以迅速变化反应室内的反应气体，并且还不会引起反应室内压力的变化！”
张主任为顾律详细的介绍了这台设备的改装情况。
除了反应室系统仍旧选择行星反应之外，其余的几个部分的系统皆进行了一定程度的改装优化。
“那……”
顾律问出了自己最关心的问题，“那现在，这台设备最大的产量是多少？”
张主任竖起三根手指，“最多可以同时生产三根两英寸的gan
第三百八十四章 MOCVD(3/5)